Infrared microscope

赤外顕微鏡

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To operate an observation mode and a measuring mode at the same time in an infrared microscope. SOLUTION: A measuring means A irradiating a sample with infrared rays and measuring infrared absorption in the measuring region on the sample, a display means B storing the visible image of the sample to display the stored visible image and a control means C performing the cooperation of the display region of the visible image and the measuring region are provided and the measuring means A and/or the display means B are controlled by the control means C so that the display region and the measuring region match with each other. By this constitution, the visible image of the sample by the measuring means is observed and the infrared absorption of the measuring region of the sample can be measured by the measuring means and an observation point and a measuring point can be positionally aligned by the control means and an observation mode and a measuring mode can be operated at the same time without being changed over.
(57)【要約】 【課題】 赤外顕微鏡において、観察モードと測定モー ドとを同時に行う。 【解決手段】 試料に赤外線を照射し、試料上の測定領 域における赤外吸収を測定する測定手段Aと、試料の可 視画像を記憶し、記憶した可視画像を表示する表示手段 Bと、可視画像の表示領域と測定領域との連動を行う制 御手段Cとを備え、制御手段Cによって、表示領域と測 定領域とが一致するよう測定手段A及び又は表示手段B を制御する構成とする。これによって、表示手段によっ て試料の可視画像を観察を行うと共に、測定手段によっ て試料の測定領域の赤外吸収を測定することができ、制 御手段によって試料上において観察ポイントと測定ポイ ントの位置を合わせることができ、観察モードと測定モ ードとを切り替えることなく同時に行うことを可能とす る。

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2002156328-AMay 31, 2002Jasco Corp, 日本分光株式会社マッピング測定可能な顕微装置及びマッピング方法
    JP-4511713-B2July 28, 2010日本分光株式会社マッピング測定可能な顕微装置及びマッピング方法
    KR-100825785-B1April 29, 2008삼성전자주식회사칩 위치 식별장치 및 이를 이용한 칩 위치 식별 방법